硅碳棒有一定的抗氧化性。當棒體溫度達到800攝氏度時，表面開始發生氧化反應，隨著溫度的繼續升高，硅碳棒會與空氣生成SIO2保護層，從而阻礙硅碳棒的繼續氧化。延長硅碳棒的使用壽命。保護層二氧化硅有一定的熔點，當棒體溫度達到1600℃以上時，保護層會被破壞或發生脫落。使得硅碳棒繼續氧化，繼續使用還會在生成保護膜，因此硅碳棒元件建議連續使用且棒體溫度不能過高，合理設計電爐及硅碳棒參數，正確的使用是使硅碳棒使用更長久的關鍵。