Wyko NT9800是目前功能最強(qiáng)大的光學(xué)輪廓儀,可快速地測(cè)量臺(tái)階高度、表面粗糙度及一系列形貌參數(shù)。作為Veeco行業(yè)領(lǐng)先的第九代NT系列產(chǎn)品線(xiàn)的最高端產(chǎn)品,NT9800可對(duì)0.1nm至10毫米尺寸進(jìn)行非接觸式三維測(cè)量,并具有納米量級(jí)的垂直分辨率。
具有定標(biāo)功能的NT9800能夠協(xié)助產(chǎn)前工藝及滿(mǎn)足產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的需要,并可作為一個(gè)向量產(chǎn)過(guò)渡地穩(wěn)定的,可靠的平臺(tái)。
行業(yè)領(lǐng)先的Wyko Vision軟件有超過(guò)200種的數(shù)據(jù)分析工具,包括自動(dòng)序列測(cè)量、數(shù)據(jù)記錄及及時(shí)反饋和SPC的合格/不合格標(biāo)準(zhǔn)評(píng)判。可選的數(shù)據(jù)分析包有膜厚分析軟件(針對(duì)100nm以上的透明薄膜)。SureVision分析模板可便利地實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化,MATLAB界面可使工程師自行編程及整合用戶(hù)分析算法。
NT9800光學(xué)輪廓儀是一款操作簡(jiǎn)便、目前最高端的光學(xué)輪廓儀。